高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)詳情介紹
發(fā)布時(shí)間： 2023-06-01 10:29:15 點(diǎn)擊： 4638
功能概述：overview
1. 四探針雙電組合測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合
2. 配置高溫四探針測(cè)試探針治具
3. PC軟件對(duì)數(shù)據(jù)的處理和測(cè)量控制.
4. 量程測(cè)試范圍.
高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)詳情介紹
應(yīng)用說(shuō)明：
半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對(duì)溫度變化測(cè)量要求，測(cè)控軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線(xiàn)圖譜，及過(guò)程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
適用行業(yè)：Applicable industry:
用于：企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測(cè)四探針儀是運(yùn)用直線(xiàn)四探針雙位測(cè)量。設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法
標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
型號(hào)及參數(shù)Models and technical parameters：
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規(guī)格型號(hào)Models |
FT-351A |
FT-351B |
FT-351C |
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1.方塊電阻范圍sheet resistance |
10-5～2×105Ω/□ |
10-6～2×105Ω/□ |
10-4～1×107Ω/□ |
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2.電阻率范圍resistivity range |
10-6～2×106Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
10-5～2×108Ω-cm |
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3.測(cè)試電流范圍test current range |
0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
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4.電流精度current accuracy |
±0.1%讀數(shù) |
±0.1讀數(shù) |
±2% |
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5.電阻精度resistance accuracy |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤10% |
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PC軟件界面 PC software interface |
顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
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7.測(cè)試方式test mode |
雙電測(cè)量Double electrical measurement |
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8.四探針儀工作電源working power |
AC 220V±10%.50Hz <30W
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9.誤差errors |
≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 standard samples） |
≤15% |
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溫度(選購(gòu))Highest temperature (choose and buy) |
常溫 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ |
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氣氛保護(hù)（氣體客戶(hù)自備） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) |
常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無(wú)色、無(wú)臭、氣態(tài)的單原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. |
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溫度精度 Temperature precision |
沖溫值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控溫精度 control precision：±1°C |
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升溫速度： rate of temperature increase |
常溫開(kāi)始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes |
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高溫材料 High temperature material |
采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder |
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PC軟件 PC software |
測(cè)試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! |
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電極材料 Electrode materials |
鎢電極或鉬電極 Tungsten electrode or molybdenum electrode |
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探針間距 The probe spacing |
直線(xiàn)型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter |
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標(biāo)配外（選購(gòu)）： Except standard configuration (optional) |
電腦和打印機(jī)1套；2.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個(gè)； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs |
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高溫電源： High temperature power |
供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW |
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