FT-3110系列全自動四探針測試儀
發布時間： 2024-12-11 10:31:34 點擊： 7566
FT-3110系列全自動四探針測試儀
功能介紹Function Introduction
四點探針法、全自動化運行測量系統
PC軟件采集和數據處理、ASTM方法
自動正/負電流輸出，自動正/負電壓測量
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調探針壓力、測試點數、多種模式
顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值
提供標準校準電阻件、數據統計分析
適用范圍Scope of application
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量；選擇性發射極擴散片；
表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等；
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規格型號 |
FT-3110A |
FT-3110B（可擴展） |
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1.方塊電阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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2.電阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
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3.測試電流 |
0.1μA;1μA;10μA，100μA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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4.電阻精度 |
≤0.3%（標準電阻） |
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5.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等 |
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6.壓力范圍 |
探針壓力可調范圍：100-500g |
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7.探針 |
鎢鋼材質，探針間距1mm；機械游移率：≤0.3%；其他規格可定制 |
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8.載臺類型及尺寸選購 |
選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內定制規格 |
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9.分析模式 |
單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 |
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10.重復性 |
單點重復性：重復性≤0.5% |
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11.防護功能 |
具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
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12.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
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半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
參數資料technical data
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規格型號 |
FT-3110A |
FT-3110B（可擴展） |
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1.方塊電阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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2.電阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
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3.測試電流 |
0.1μA;1μA;10μA，100μA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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4.電阻精度 |
≤0.3%（標準電阻） |
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5.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等 |
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6.壓力范圍 |
探針壓力可調范圍：100-500g |
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7.探針 |
鎢鋼材質，探針間距1mm；機械游移率：≤0.3%；其他規格可定制 |
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8.載臺類型及尺寸選購 |
選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內定制規格 |
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9.分析模式 |
單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 |
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10.重復性 |
單點重復性：重復性≤0.5% |
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11.防護功能 |
具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
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12.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
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半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
參數資料technical data
三.技術參數：
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規格型號 |
FT-3110A |
FT-3110B |
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1.電阻 |
10^-5～2×10^5Ω |
10^-6～2×10^5Ω |
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2.方塊電阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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3.電阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
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4.測試電流 |
0.1μA.1μA.10μA，100μA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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5.電流精度 |
±0.1% |
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6.電阻精度 |
≤0.3% |
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7.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、 報表生成等 |
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8.壓力范圍選購： |
探針壓力可調范圍：軟件控制,100-500g可調 |
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9.探針 |
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規格可定制 |
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10.可測晶片 尺寸選購 |
晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
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11.分析模式 |
單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 |
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12.加壓方式 |
測量重復性：重復性≤3% |
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13.安全防護 |
具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
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14.測試環境 |
真空 |
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15.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W |
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16.選購項目 |
電腦和打印機 |
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