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FT-333四探針電阻率測試儀

發(fā)布時間: 2024-04-29 15:41:36 點(diǎn)擊: 1114
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一. 描述:

采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.

二.參照標(biāo)準(zhǔn):

硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

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